沈勤我
作品数: 49被引量:62H指数:4
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

林成鲁
作品数:249被引量:547H指数:13
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
沈鸿烈
作品数:255被引量:325H指数:8
供职机构:南京航空航天大学
研究主题:磁控溅射 太阳电池 多晶硅 巨磁电阻 多晶硅薄膜
邹世昌
作品数:200被引量:245H指数:9
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
刘卫丽
作品数:178被引量:111H指数:7
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
李铁
作品数:359被引量:140H指数:6
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米