李铁
作品数: 359被引量:140H指数:6
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

王跃林
作品数:723被引量:799H指数:14
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
王翊
作品数:53被引量:19H指数:3
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 微机械 红外探测器 红外光源 微机械热电堆
刘延祥
作品数:43被引量:22H指数:4
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 红外探测器 金字塔结构 中心波长
周宏
作品数:28被引量:5H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 中心波长 探测器芯片 红外特征
沈鸿烈
作品数:255被引量:325H指数:8
供职机构:南京航空航天大学
研究主题:磁控溅射 太阳电池 多晶硅 巨磁电阻 多晶硅薄膜
一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法
本发明涉及一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法,特征在于以绝缘层上的硅为基材料,利用硅的各向异性腐蚀特性,通过氧化、光刻、腐蚀等微机械加工技术,制作出位置精确、镜面平整度高且与波导平面绝对垂直的全反射镜,并和用绝缘...
唐衍哲王文辉李铁王跃林
文献传递
一种微型热导气体传感器
本发明涉及一种微型热导气体传感器,包括下盖、以及与所述下盖气密性键合的上盖,所述下盖的上表面设有两个悬浮的热丝组件,其中,每个热丝组件连接一组焊盘;所述上盖的下表面上设有两组依次连接的第一浅槽气道、气道和第二浅槽气道,其...
李铁王家钰王翊
文献传递
一种调控德拜长度实现复杂环境高灵敏生化检测的方法
本发明提供一种调控德拜长度实现复杂环境高灵敏生化检测的方法,包括:对复杂样本进行稀释,得到多个浓度的目标溶液;将复杂样本以及稀释后的目标溶液通过纳米传感器阵列;通过纳米传感器的检测灵敏度确定合适的稀释倍数和探针的类型,随...
李铁 魏擅红 杨义
一种三明治结构MEMS圆柱形离子阱、制备方法及应用
本发明涉及一种三明治结构MEMS圆柱形离子阱、制备方法及应用,其特征在于所述的圆柱形离子阱由两个端盖电极硅片与圆柱形电极硅片分两次键合形成一体式结构。所述一体式结构是由三个硅片通过两次键合而成,其中上下层两个硅片是端盖电...
肖军徽李铁黄刚刘延祥王跃林
一种在(111)型硅片上制作单晶硅纳米长针尖的方法
本发明提供一种在(111)型硅片上制作单晶硅纳米长针尖的方法,包括:于硅片表面制作至少具有3个两两相邻的刻蚀窗口的掩膜图形;将各该刻蚀窗口下方的硅片用ICP干法刻蚀至一预设深度;各向异性湿法腐蚀,使两两相邻的3个腐蚀槽的...
李铁俞骁张啸王跃林
文献传递
在绝缘体上硅的硅片上纳米宽度谐振结构及其制作方法
本发明涉及一种在SOI硅片上纳米宽度谐振结构及制作方法,其特征在于巧妙利用了(110)晶向硅片的各向异性湿法腐蚀特性,通过精确控制光刻掩模图形与(112)晶向间夹角,利用各向异性湿法腐蚀会自动校准晶向、同时结合腐蚀液对(...
杨恒许科峰李铁焦继伟李昕欣王跃林
文献传递
基于SiC热电材料的高温热流传感器及其制备方法
本发明提供一种基于SiC热电材料的高温热流传感器及其制备方法,包括:SiC衬底,具有第一表面和第二表面,第一表面上设有沟槽及由沟槽围绕形成的平台区域;复合介质膜,覆盖沟槽及平台区域;隔热腔体,设于SiC衬底中,由第二表面...
李铁田伟王跃林
文献传递
一种采用混合等离子体实现硅基芯片与PDMS芯片键合的方法
本发明提供一种采用混合等离子体实现硅基芯片与PDMS芯片键合的方法,首先提供一硅基芯片与一PDMS芯片,采用丙酮和酒精对所述硅基芯片及所述PDMS芯片进行超声清洗,然后采用氧气及第二气体的混合等离子体对所述硅基芯片的键合...
李铁高安然戴鹏飞鲁娜萨姆·海米拉帕西·盖里奥王跃林
文献传递
一维纳米结构的拉伸力学测试被引量:1
2008年
对一维纳米结构开展轴向拉伸测试时,面临着样品制备、装载、拉伸、样品的轴向应力与应变的高精度测量等难点,解决途径包括改造现代显微仪器、研制MEMS力学测试芯片及发展一维纳米样品的制备与装载技术。从实验使用的测试仪器及拉伸方式出发,将目前发表的一维纳米拉伸实验分为基于探针、MEMS和电子束辐照开展的拉伸实验,并对各种实验方法进行了比较。发现基于MEMS的拉伸实验由于其对测试仪器的改造小、花费少、且通过设计制作不同测试功能的芯片可实现多样测试,是更有发展前景的测试技术。
金钦华王跃林李铁
关键词:一维纳米结构原位测试
先进体硅机械加工技术——从微米到纳米
介绍了多种自主研发的先进体硅机械加工技术。在湿法各向异性腐蚀技术方面,开发了一种“掩模-无掩模三维腐蚀技术”,只进行一次光刻,就可以用顺序的腐蚀过程实现多层微机械结构,用该技术可以制备多种先进MEMS器件。介绍用ICP-...
李昕欣王跃林李铁杨恒焦继伟
关键词:机械加工技术
文献传递