-
和致经
-

-

- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
相关作者
- 刘新宇

- 作品数:893被引量:313H指数:7
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 HEMT
- 吴德馨

- 作品数:128被引量:184H指数:8
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:ALGAN/GAN HEMT INGAP/GAAS_HBT HBT 欧姆接触
- 魏珂

- 作品数:235被引量:71H指数:5
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:氮化镓 势垒层 刻蚀 欧姆接触 ALGAN/GAN
- 郑英奎

- 作品数:109被引量:33H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:氮化镓 ALGAN/GAN GAN 电子束光刻 ALGAN/GAN_HEMT
- 刘键

- 作品数:95被引量:54H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:硅衬底 ALGAN/GAN_HEMT ALGAN/GAN 氮化碳薄膜 氮化碳