-
何明轩
-

-

- 所属机构:上海交通大学
- 所在地区:上海市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:上海市科委纳米专项基金
相关作者
- 汪红

- 作品数:177被引量:202H指数:8
- 供职机构:上海交通大学
- 研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
- 丁桂甫

- 作品数:572被引量:736H指数:12
- 供职机构:上海交通大学
- 研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
- 李源

- 作品数:104被引量:153H指数:8
- 供职机构:上海交通大学机械与动力工程学院
- 研究主题:纳米测量机 MEMS 微机电系统 纳米 校准
- 卢歆

- 作品数:5被引量:13H指数:2
- 供职机构:上海交通大学
- 研究主题:纳米测量机 高灵敏度 可变电容 微加工 电极
- 赵小林

- 作品数:283被引量:575H指数:12
- 供职机构:上海交通大学
- 研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动