刘昆
作品数: 12被引量:40H指数:1
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

周常河
作品数:453被引量:385H指数:11
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅 达曼光栅 电子束直写 衍射效率 位相
李树斌
作品数:34被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅 垂直入射 电子束直写 光栅周期 衍射效率
王少卿
作品数:43被引量:56H指数:2
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:达曼光栅 衍射 波带片 焦深 自聚焦
黄巍
作品数:7被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:达曼光栅 传输线 形态学分析 光栅 激光直写
韦盛斌
作品数:13被引量:40H指数:1
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:达曼光栅 三维轮廓测量 传输线 测量方法 衍射