刘超然
作品数: 6被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市

相关作者

车录锋
作品数:159被引量:309H指数:11
供职机构:浙江大学
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 加速度计
周晓峰
作品数:29被引量:9H指数:2
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 加速度传感器 侧向冲击 过载
李伟
作品数:107被引量:17H指数:3
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:芯片 折射率 衬底 弹性梁 硅