胡畅
作品数: 19被引量:1H指数:1
  • 所属机构:华中科技大学
  • 所在地区:湖北省 武汉市
  • 研究方向:自动化与计算机技术

相关作者

刘胜
作品数:315被引量:605H指数:14
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 MEMS 封装 键合 真空封装
汪学方
作品数:134被引量:135H指数:6
供职机构:华中科技大学
研究主题:真空封装 微机电系统 刻蚀 键合 硅片
徐明海
作品数:13被引量:11H指数:1
供职机构:华中科技大学
研究主题:金属电极 通孔 硅片 硅 TSV
徐春林
作品数:14被引量:0H指数:0
供职机构:华中科技大学
研究主题:金属电极 流量传感器 性能稳定 硅片 溅射
王宇哲
作品数:22被引量:18H指数:2
供职机构:华中科技大学
研究主题:金属电极 硅 通孔 MEMS 掩膜