包宇洋
作品数: 6被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:交通运输工程

相关作者

李昕欣
作品数:547被引量:382H指数:10
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
于海涛
作品数:68被引量:36H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微悬臂梁 悬臂梁 谐振式 锁相环 传感器
许鹏程
作品数:98被引量:53H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微悬臂梁 悬臂梁 气体传感器 芯片 纳米线
王家畴
作品数:81被引量:78H指数:6
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅片 单晶硅 衬底 热偶 热电堆
陈滢
作品数:26被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加热元件 微悬臂梁 传感器 压阻 金属氧化物