高浩
作品数: 18被引量:0H指数:0
  • 所属机构:北京七星华创电子股份有限公司
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术

相关作者

徐俊成
作品数:26被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 密封 支撑脚 机械手 导轨
赵宏宇
作品数:54被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
李伟
作品数:47被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:出口 二相流 卡盘 液体流 硅片
孙文婷
作品数:12被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 半导体工艺设备 浮尘 风机机组 监测系统
裴立坤
作品数:66被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化