时慧玲
作品数: 4被引量:16H指数:3
  • 所属机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家教育部博士点基金

相关作者

刘玉岭
作品数:481被引量:760H指数:13
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
孙薇
作品数:5被引量:16H指数:3
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 磨料 SIO2 CU
张伟
作品数:140被引量:178H指数:7
供职机构:河北工业大学
研究主题:卫星电源 太阳电池阵 化学机械抛光 CMP 空间电源
侯丽辉
作品数:3被引量:16H指数:3
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 磨料 CU ULSI
牛新环
作品数:128被引量:325H指数:9
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液