-
霍同林
-

-

- 所属机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
- 所在地区:安徽省 合肥市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 周洪军

- 作品数:85被引量:213H指数:8
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:多层膜 真空紫外 光束线 磁控溅射 软X射线
- 洪义麟

- 作品数:188被引量:405H指数:11
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
- 徐向东

- 作品数:143被引量:360H指数:11
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻
- 付绍军

- 作品数:199被引量:363H指数:9
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
- 陶晓明

- 作品数:32被引量:93H指数:7
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:离子束刻蚀 软X射线 光刻掩模 全息光刻 光刻胶