刘宇宏
作品数: 67被引量:81H指数:6
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

雒建斌
作品数:647被引量:1,179H指数:19
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
路新春
作品数:367被引量:360H指数:11
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
刘磊
作品数:348被引量:659H指数:14
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:脱羧 偶联反应 金属 蛋白质 化合物
陈哲
作品数:377被引量:756H指数:15
供职机构:国防科技大学
研究主题:侧边抛磨光纤 光纤 折射率 光纤传感器 全光纤
潘国顺
作品数:168被引量:277H指数:11
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒