何志
作品数： 30被引量：26H指数：4
  • 所属机构:中国科学院半导体研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

杨富华
作品数：487被引量：256H指数：7
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 电极 相变存储器 谐振器 纳米尺寸
樊中朝
作品数：70被引量：103H指数：5
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：刻蚀 干法刻蚀 碳化硅 SOI 多模干涉耦合器
王晓东
作品数：425被引量：1,153H指数：17
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 纳米尺寸 微装配 刻蚀
杨香
作品数：45被引量：12H指数：3
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：碳化硅 硅基 刻蚀 相变存储器 沟槽
刘胜北
作品数：30被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：碳化硅 刻蚀 半导体薄膜 肖特基二极管 势垒
作品列表