李艳丽
作品数: 43被引量:14H指数:2
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

胡松
作品数:472被引量:450H指数:9
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
严伟
作品数:148被引量:126H指数:6
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
陈铭勇
作品数:55被引量:46H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
王建
作品数:64被引量:22H指数:3
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:镜片 光束 动镜 投影光刻机 波像差
杨勇
作品数:72被引量:67H指数:5
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶