-
关秉羽
-
-
- 所属机构:沈阳市北宇真空设备厂
- 所在地区:辽宁省 沈阳市
- 研究方向:一般工业技术
- 发文基金:国家高技术研究发展计划
相关作者
- 李国卿
- 作品数：113被引量：262H指数：8
- 供职机构：大连理工大学
- 研究主题：离子注入 磁控溅射 离子束 等离子体 类金刚石碳膜
- 牟宗信
- 作品数：103被引量：172H指数：8
- 供职机构：大连理工大学
- 研究主题：磁控溅射 等离子体 非平衡磁控溅射 离子注入 离子束
- 柳翠
- 作品数：18被引量：49H指数：4
- 供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
- 研究主题：类金刚石碳膜 等离子体 磁控溅射 类金刚石膜 等离子体源
- 张成武
- 作品数：9被引量：21H指数：3
- 供职机构：大连理工大学
- 研究主题：类金刚石膜 等离子体制备 磁控溅射 类金刚石碳膜 等离子体
- 李剑锋
- 作品数：43被引量：38H指数：4
- 供职机构：大连交通大学材料科学与工程学院
- 研究主题：磁控溅射 集热管 太阳能 耐蚀性 PECVD
