-
蔡建
-

-

- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:航空宇航科学技术
相关作者
- 杨景华

- 作品数:44被引量:1H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:等离子体 滚轴 常压 放电装置 自由基
- 贾少霞

- 作品数:39被引量:3H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:自由基 等离子体 常压等离子体 工作气体 等离子体发生器
- 张兴华

- 作品数:13被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:脉冲激光烧蚀 微推进 等离子体加速 碘 高频脉冲