蔡建
作品数: 23被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:航空宇航科学技术

相关作者

杨景华
作品数:44被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 滚轴 常压 放电装置 自由基
贾少霞
作品数:39被引量:3H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:自由基 等离子体 常压等离子体 工作气体 等离子体发生器
张兴华
作品数:13被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:脉冲激光烧蚀 微推进 等离子体加速 碘 高频脉冲