-
马振国
-

-

- 所属机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
- 所在地区:天津市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 刘玉岭

- 作品数:481被引量:760H指数:13
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
- 王立发

- 作品数:29被引量:44H指数:4
- 供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
- 研究主题:CMP 化学机械抛光 粗糙度 T/R组件 硬盘基板
- 武亚红

- 作品数:7被引量:28H指数:4
- 供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 粗糙度 抛光液 SIO2
- 陈景

- 作品数:5被引量:28H指数:4
- 供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 粗糙度 抛光液 M级
- 牛新环

- 作品数:128被引量:325H指数:9
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液